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晶圆运输盒(如前开式FOSB)是一种前开式结构的塑料容器,通过低释气材质和防震设计,保护晶圆在跨厂运输中免受微尘、湿气或振动影响。
COP材料以其极低的金属离子析出与超低吸湿性,能有效保护晶圆免受污染,防止因吸湿导致产品缺陷。
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